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半导体激光打标机的谐振腔结构

为了提高激光器输出的稳定性,采用外桥内腔的激光谐振腔结构,使激光器输出功率稳定性以及机构光束指向稳定性有了很大提高。M2和M3均安装在外光桥座G1、G2上,它与真空箱体B没有固联。当真空箱体B在被抽真空和因温度变化产生变形时,不会传递到外光桥座G1、G2上,这就从结构上保证了G1、G2不会发生位移。在激光器运转过程中,G1、G2各部位均处在室温状态下。因此,谐振腔的变形和位移得到了有效地抑制,这就可用普通的材料取代国外采用的昂贵材料,如碳纤维或殷钢等。

谐振腔由反射镜座、输出镜座与光桥组成,三者极性地固定在一起,光桥由圆形钢管或碳纤维管制成,外部包有隔热材料,以使它具有较好的热稳定性。

横流激光器谐振腔的菲涅耳数通常比较大,激活物质哼截面通常近似为矩形,当采用稳定腔时,一般得到的是多模激光输出。在单程稳定谐振腔中常采用半球面谐振腔的形式,由全返京及红外材料的输出窗口组成。